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本发明公开一种PMUT结合MEMS压力传感器的超声换能器单元、阵列及制造方法，把MEMS压力传感器与PMUT超声换能器单片集成，将MEMS压力传感器的输出信号叠加进PMUT的输出信号，提升整体响应，增强超声探头的灵敏度。本发明同时公开所述P...
该专利属于浙江仙声科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江仙声科技有限公司授权不得商用。

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