下载一种真空激光透射镜片保护系统及方法的技术资料

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本发明公开了一种真空激光透射镜片保护系统及方法,本系统包括激光透射模块、滑动密封模块和防飞溅模块,激光透射模块作为激光从系统外部射入通道固定于滑动密封模块上,滑动密封模块驱动激光透射模块在垂直激光入射方向的平面内滑动,防飞溅模块固定于滑动密...
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