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本发明涉及链轮张紧技术领域，具体而言，涉及一种链轮张紧机构，包括支撑架和张紧单元，张紧单元包括旋转件、中心转轴和辅助转动链轮结构，中心转轴的一端与支撑架连接，中心转轴的另一端与旋转件转动连接，旋转件上同一侧面的两端均设置辅助转动链轮结构，辅...该专利属于北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）授权不得商用。