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一种高热导率耐磨耐腐蚀的金刚石电路板及其制备方法技术
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下载一种高热导率耐磨耐腐蚀的金刚石电路板及其制备方法的技术资料
文档序号:33477632
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本发明为一种高热导率耐磨耐腐蚀的金刚石电路板及其制备方法,属于人工合成金刚石电路技术领域。本发明电路板由单层或者多层高纯度的绝缘金刚石膜及高掺B量的导电金刚石电路组成,其制备方法是利用CVD法,首先在基片上制备高纯度的绝缘金刚石膜,后利用掩...
该专利属于太原理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过太原理工大学授权不得商用。
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