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本发明提供一种单片式晶圆清洗装置，包括防护罩及驱动单元，防护罩至少包括第一防护罩及第二防护罩，且第一防护罩位于第二防护罩的外围；驱动单元包括连接件、旋转件及驱动件，其中，连接件与防护罩对应设置，且连接件的第一端与防护罩相连接，旋转件设置有倾...
该专利属于上海普达特半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海普达特半导体设备有限公司授权不得商用。

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