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本实用新型公开了一种微电子元件加工用转运装置，涉及微电子元件加工设备技术领域，包括底座，所述底座的顶部固定连接有支撑柱，所述支撑柱的外侧固定连接有步进电机，所述步进电机的输出端固定连接有第一链轮，所述第一链轮的外侧套有传动链条，本实用新型有...
该专利属于南京曙天集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京曙天集成电路有限公司授权不得商用。

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