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一种制备光波导器件的模板及其制备方法、应用技术
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文档序号:33455175
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本申请公开了一种制备光波导器件模板的方法,并进一步公开了采用该方法制备的光波导器件模板、利用该模板制造光波导器件的方法,以及利用该方法制备的光波导器件及应用。本申请所提供的以氟化聚酰亚胺作为制备可应用于光互联的光波导器件的材料,可以耐受PC...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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