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本发明涉及表面工程技术领域，特别是涉及一种类金刚石厚膜的制备方法。该类金刚石厚膜的制备方法首先采用超声波清洗、气体离子束清洗去除基体表面污染物及氧化层，然后利用等离子体辅助磁控溅射沉积方式在基体上沉积过渡层，再利用超快激光在过渡层上刻蚀微结...
该专利属于中国航空制造技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国航空制造技术研究院授权不得商用。

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