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本发明公开了一种垂直式MEMS弯形探针插针装置及其插针方法；插针装置包括上固定结构、下固定结构、平移结构、倾斜结构、定位导向结构视觉检测结构，插针装置被配置成，在工作位置、所述倾斜机构带动所述下固定结构倾斜时，探针的针尾在所述下探针孔的空间...
该专利属于强一半导体（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过强一半导体（苏州）有限公司授权不得商用。

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