温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种垂直式MEMS直针插针装置及其插针方法；插针装置包括上固定结构、下固定结构、平移结构、锁止结构、垫手结构、滑轨结构、定位导向结构、视觉检测结构；插针装置被配置成，在工作位置、所述滑轨结构带动所述垫手凸台移动到探针卡上面时，所...
该专利属于强一半导体（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过强一半导体（苏州）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。