温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种CMUT芯片及其加工方法、CMUT，CMUT芯片包括上电极焊盘、下电极焊盘、振动薄膜、支撑元件、腔体、氧化层和衬底，上电极焊盘和下电极焊盘均分布在振动薄膜的表面上；在振动薄膜上形成有隔离槽，将振动薄膜分隔成两部分，两部分中较...该专利属于中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心所有，仅供学习研究参考，未经过中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心授权不得商用。