下载一种半导体结构及制备方法与应用的技术资料

文档序号:33445287

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本发明提出了一种半导体结构及制备方法与应用,所述制备方法,至少包括以下步骤:提供一衬底;在所述衬底上形成半导体外延层,且所述半导体外延层包括依次设置的第一类型半导体层、量子阱层和第二类型半导体层;通入第一类型气体,刻蚀所述半导体外延层一侧的...
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