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一种基于正交载波调制的MOEMS加速度传感器系统技术方案
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文档序号：33444907
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本发明提供一种基于正交载波调制的MOEMS加速度传感器系统，解决了模拟解调过程中激光载波信号和参考信号相位差波动影响MOEMS传感器系统输出信号的问题，提高信号检测精度，同时适用范围广泛。包括：电压驱动信号单元用于输出两路相位差为90
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。
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