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本发明公开了一种灵敏度及量程可调的法珀加速度敏感芯片及加工方法，包括上层盖板、弹簧质量结构、下层底板，所述弹簧质量结构通过阳极键合工艺与所述上层盖板和所述下层底板固定连接形成法布里珀罗腔。所述上层盖板的下表面和所述下层底板的上表面腐蚀有正方...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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