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本实用新型公开了清洗装置技术领域的一种高效节能的碳化硅晶片清洗装置，包括清洗箱，清洗箱内部设置有清洗机构，清洗机构由圆盘、支架、网盒和固定架构成，圆盘有两个，两个圆盘之间通过连接轴固定连接；支架有若干个，分别等距离安装于两个圆盘侧边处、且两...
该专利属于安徽微芯长江半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽微芯长江半导体材料有限公司授权不得商用。

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