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本发明提供一种可减小光的入射角依赖性的光学滤波器。该光学滤波器(1)具有氢化硅膜(4)，在通过拉曼光谱法测定的氢化硅膜(4)的拉曼光谱中，根据由SiH引起的峰的面积与由SiH2引起的峰的面积之比求出的比(SiH/SiH2)在0.7以上。以上...
该专利属于日本电气硝子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本电气硝子株式会社授权不得商用。

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