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用于高通量材料表征的二维扫描系统及测量方法技术方案
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文档序号:33419005
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用于高通量材料表征的二维扫描系统与方法,应用于高通量材料表征与扫描领域。本发明提出了三种不同的二维扫描系统与方法,其均由激光器、高效分光单元、样品、光电探测器组成,实现高采样速度、大数据量、高空间/时间分辨率的材料扫描。基于空间逐点法的二维...
该专利属于南开大学所有,仅供学习研究参考,未经过南开大学授权不得商用。
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