下载半导体结构及其形成方法的技术资料

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一种半导体结构及其形成方法,包括:衬底,衬底上具有鳍部;位于衬底上的隔离层;位于衬底上的栅极结构,栅极结构横跨于鳍部上;位于栅极结构两侧的鳍部内的第二源漏开口,第二源漏开口包括第一区以及位于第一区上的第二区,第一区沿第二方向具有第一尺寸,第...
该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

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