下载一种平面平晶检定装置及检定方法的技术资料

文档序号:33405725

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本发明公开了一种平面平晶检定装置及检定方法,包括被测平晶,被测平晶的底部设置有标准平晶,被测平晶的顶部设置有准直物镜,准直物镜的左上方设置有挡板,挡板上开设有小孔,挡板的侧面设置有光纤激光,挡板的右侧设置有第一反射镜,准直物镜的正上方设置有...
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