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本申请提供了一种进气装置及CVD设备，涉及CVD设备技术领域。进气装置包括进气室本体、安装座、多孔透气件及挡风板；安装座设置于进气室本体，多孔透气件设置于安装座与进气室本体之间，且多孔透气件与安装座之间形成至少三个气流调节腔，安装座上对应气...
该专利属于深圳市纳设智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市纳设智能装备有限公司授权不得商用。

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