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本发明公开了一种DFB激光器光学膜的制备方法，属于光通信芯片光学薄膜技术领域。该方法步骤如下：将DFB激光器置于化学气相沉积设备内的工艺腔内，通过低温低压、化学气相沉积制备DFB激光器光学膜；首先，在DFB激光器背光面沉积SiO2/Si层叠...
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