下载大范围高精度流体调节装置及方法的技术资料

文档序号:33385099

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本发明公开了一种大范围高精度流体调节装置及方法,该装置包括带有流体输入端的输入汇流排、带有流体输出端的输出汇流排、若干组并联在输入汇流排和输出汇流排之间的支路、控制模块,每组支路上都串联有电磁阀和节流阀,所有组的电磁阀分别由控制模块控制启闭...
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