下载单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置的技术资料

文档序号:33378499

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本申请实施例提供了一种单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置。所述方法包括:提供炉体、导气管以及加料器,炉体内装有双坩埚和加热器;将硅料装入双坩埚中,双坩埚包括外坩埚以及设置于外坩埚内的内坩埚;将导气管插入双坩埚中,并将加料器的加料管插入外坩埚...
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