下载一种凝露收集装置及磁悬浮分子泵的技术资料

文档序号:33378046

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本发明涉及分子泵技术领域,具体涉及一种凝露收集装置及磁悬浮分子泵。包括:外壳体,其内形成圆柱状的腔体且由金属材质制成,外壳体的两个端面开设有第一通气孔,外壳体的侧壁开设有第一连通孔;转动壳体,其为圆柱状结构,转动壳体转动安装在外壳体内部且与...
该专利属于北京中科科仪股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京中科科仪股份有限公司授权不得商用。

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