下载阻抗调整方法、射频电路及射频电源装置的技术资料

文档序号:33377625

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本发明公开一种阻抗调整方法、射频电路和射频电源装置,所述射频电源装置用于向负载输出射频信号,所述射频电源装置包括阻抗检测模块和阻抗匹配模块,所述阻抗调整方法包括以下步骤:获取射频信号的输出功率和反射功率,根据所述输出功率和反射功率确定负载的...
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