下载一种激光对焦成像系统及系统的偏移量的自动化检测方法的技术资料

文档序号:33374014

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本发明公开了一种激光对焦成像系统及系统的偏移量的自动化检测方法。激光对焦系统通常用于无限远共轭光学系统中,可以检测物方待测样品的位置。其耦合到对应的检测系统或者观察系统中,虽然能够获得一致的对焦结果,但是由于激光对焦系统本身的误差,激光对焦...
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