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杠杆驱动的晶圆定位及托起机构制造技术
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文档序号:33370055
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本发明公开一种杠杆驱动的晶圆定位及托起机构,包括设置在底板上的定位装置和托起装置,定位装置包括驱动装置、中心板、缓冲装置、以及沿中心板周向均匀设置的至少三组撬杆和浮动定位指,缓冲装置为设置在底板与中心板之间的弹簧;驱动装置下压中心板并使弹簧...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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