下载一种基于双层圆孔点阵二维光栅的可调谐光学角度编码器的技术资料

文档序号:33355596

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本发明属于角度测量传感器技术领域,具体涉及一种基于双层圆孔点阵二维光栅的可调谐光学角度编码器,包括激光器、准直扩束器、上层圆孔点阵二维光栅、挡光环、下层圆孔点阵二维光栅、探测器,所述挡光环与下层圆孔点阵二维光栅通过螺纹连接,所述下层圆孔点阵...
该专利属于中北大学所有,仅供学习研究参考,未经过中北大学授权不得商用。

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