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提供了一种光学移相器。光学移相器包括衬底、第一波导层、第二波导层、金属层以及第三波导层。第一波导层位于衬底之上。第二波导层位于第一波导层之上。金属层位于第二波导层之上，被配置为接收控制电压。第三波导层位于金属层之上。第二波导层和第三波导层共...
该专利属于联合微电子中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过联合微电子中心有限责任公司授权不得商用。

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