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本公开实施例提出了一种光刻机，所述光刻机包括控制装置、激光光源、电光调制器、光纤传输系统、光聚焦系统以及电驱动工件台，所述控制装置与所述电光调制器以及所述电驱动工件台连接，所述控制装置用于基于设计版图控制所述电光调制器对于所述激光光源发射的...
该专利属于西湖大学所有，仅供学习研究参考，未经过西湖大学授权不得商用。

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