下载一种间隙传感器、间隙测量方法及测量装置的技术资料

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为解决现有技术采用电容法进行间隙测量时电容极板的有效正对面积会引入一定误差以及电容测量过程容易受电磁干扰的问题,本发明实施例提供一种间隙传感器、间隙测量方法及测量装置,包括:45
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该专利属于中国工程物理研究院流体物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院流体物理研究所授权不得商用。

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