下载光伏电池钝化沉积装置的技术资料

文档序号:33349233

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本发明公开了一种光伏电池钝化沉积装置,涉及太阳能电池生产设备技术领域。该装置的工作腔内设有安装架,安装架包括若干片相互平行设置的放置板,工作腔内设有抬升件,用于将安装架整体推出炉体的炉口或收回安装架,抬升件包括抬升管,抬升管中空设置且位于放...
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