下载一种用于同时测量旋转轴六自由度运动误差的系统的技术资料

文档序号:33348319

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本发明提供了一种用于同时测量旋转轴六自由度运动误差的系统。该系统包括:光路连接的光源、测量单元和误差敏感单元;测量单元对光源发出的激光进行处理并传输至误差敏感单元,根据误差敏感单元返回的衍射光和反射光测量旋转轴六自由度运动误差;误差敏感单元...
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