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本发明涉及一种基于相干扫描干涉系统的变焦显微表面重构方法，包括如下步骤：1：获取表面扫描干涉三维信号；2：对三维信号进行三维傅立叶变换获取其三维频谱；3：从三维频谱中提取变焦显微成像信号频谱；4：对变焦显微成像信号频谱做三维傅立叶逆变换获取...该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。
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本发明涉及一种基于相干扫描干涉系统的变焦显微表面重构方法，包括如下步骤：1：获取表面扫描干涉三维信号；2：对三维信号进行三维傅立叶变换获取其三维频谱；3：从三维频谱中提取变焦显微成像信号频谱；4：对变焦显微成像信号频谱做三维傅立叶逆变换获取...