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形成模具在与沉积膜接触的表面的一部分或者整个表面包含第1波状面。第1波状面的波的周期包含于大于或等于250nm小于或等于500nm的范围。沉积膜追随形成模具的表面。第1波状面包含多个肋面、多个槽面以及将肋面和槽面分别连接的多个锥面。沉积膜包...
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