下载用于捕获图像数据的设备和方法的技术资料

文档序号:33342321

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本发明涉及一种用于捕获图像数据的设备,其包括检测光束路径和用于在第一检测路径和第二检测路径之间分离检测辐射的装置。检测器位于每个检测路径中。微透镜阵列布置在至少一个检测器的上游。第一检测器具有第一空间分辨率,第二检测器具有第二空间分辨率,第...
该专利属于卡尔蔡司显微镜有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过卡尔蔡司显微镜有限责任公司授权不得商用。

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