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本发明涉及多孔玻璃基材的制造方法和制造设备。当将处于液体状态的有机硅氧烷用作玻璃颗粒的原料时，在原料于气化器中气化时抑制聚合物质的形成。在根据本发明的多孔玻璃基材的制造方法中，将作为原料的液体有机硅氧烷与载气在气化器中混合，通过从由加热器单...
该专利属于信越化学工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过信越化学工业株式会社授权不得商用。

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