下载膜剥离装置和剥离膜的方法的技术资料

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提供了膜剥离装置和剥离膜的方法。膜剥离装置包括腔室、下部台、第一夹持器至第四夹持器和上部台,下部台布置在腔室的第一壁上,第一夹持器至第四夹持器能够通过夹持与布置在下部台上的对象附接的膜的第一侧至第四侧来剥离膜的第一侧至第四侧,上部台布置在面...
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