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本发明属于MEMS执行器技术领域，公开了一种静电驱动微执行器吸合电压的计算方法、系统及存储介质，基于静电场和弹性薄板理论对微机电系统MEMS中的静电型悬臂梁式执行器的吸合现象进行理论分析；借助有限元软件COMSOL完成吸合电压的计算并与实际...
该专利属于济南大学山东超探电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过济南大学山东超探电子科技有限公司授权不得商用。

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