下载划片装置的技术资料

文档序号:33328941

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本实用新型公开了一种划片装置,包括:承载平台、热裂激光器和开槽激光器,承载平台适用于承载片体,承载平台在水平面上沿第一方向进行移动;热裂激光器设置于承载平台的上方;开槽激光器设置于承载平台的上方且与热裂激光器间隔设置,开槽激光器包括:激光头...
该专利属于嘉兴阿特斯技术研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过嘉兴阿特斯技术研究院有限公司授权不得商用。

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