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本申请提供一种蒸镀源装置以及真空蒸镀设备,包括壳体,具有空腔以及与空腔连通的开口;坩埚主体,设置于空腔,坩埚主体能够穿过开口;盖体,设置有蒸镀孔,盖体能够封闭开口且能够与坩埚主体抵接,以限制坩埚主体于空腔。该蒸镀源装置可以减少坩埚主体从壳体...该专利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。
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