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本发明揭示一种射频(RF)产生器，其包含经组态以依一输出频率产生一输出信号之一RF电源。该RF产生器包含一频率调谐模块。该频率调谐模块产生控制该RF电源之该输出频率之一频率控制信号。该频率控制信号包含一频率调谐信号分量及一扰动信号分量。该扰...
该专利属于MKS仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过MKS仪器有限公司授权不得商用。

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