下载一种两级放大的低频磁阻传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:33287727

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本发明提供一种两级放大的低频磁阻传感器,包括基底、磁电阻传感元件、MEMS谐振器、两级放大调制结构,所述磁电阻传感元件设于所述基底的上端面,所述MEMS谐振器安装于所述基底上,所述两级放大调制结构包括两个第一磁力线聚集器和第二磁力线聚集器,...
该专利属于中国科学院空天信息创新研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院空天信息创新研究院授权不得商用。

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