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本发明提供了一种高纯硅芯制备方法及制备装置，涉及多晶硅生产的技术领域，高纯硅芯制备方法包括以下步骤：启动阶段：将硅芯放置在反应容器中，提升硅芯的表面温度；向反应容器中通入预热物料，以令硅芯生长；生长阶段：向反应容器中通入预热物料，并提升硅芯...该专利属于青海亚洲硅业半导体有限公司青海省亚硅硅材料工程技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青海亚洲硅业半导体有限公司青海省亚硅硅材料工程技术有限公司授权不得商用。