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本公开涉及一种用于铂金通道的加湿装置，该加湿装置包括蒸汽罩(1)和加湿器(3)，所述蒸汽罩(1)用于罩设在铂金通道(2)外，所述蒸汽罩(1)上形成有用于连通所述蒸汽罩(1)的内部与所述蒸汽罩(1)的外部的开口(11)，所述开口(11)处设置...
该专利属于河北光兴半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河北光兴半导体技术有限公司授权不得商用。

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