下载一种用于压电晶片凸面研磨频率监控工装的技术资料

文档序号:33223111

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本实用新型提供了一种用于压电晶片凸面研磨频率监控工装,包括套设在晶片外围的定位环,所述定位环内装配有聚甲醛阻隔层,所述聚甲醛阻隔层的中部开设有通孔,所述通孔内装配有金属压块,所述聚甲醛阻隔层将所述金属压块与所述定位环分隔开,所述金属压块的上...
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