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一种笔形束扫描束流位置快速校正装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:33202845
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本发明公开了一种笔形束扫描束流位置快速校正装置和方法,该装置的特点是:在扫描磁铁SMX前,还依次安装有快速校正磁铁;所述扫描控制器设有基于神经网络的束流位置预测模块,该束流位置预测模块保存有训练好的神经网络参数,该训练好的神经网络参数用于束...
该专利属于中国原子能科学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国原子能科学研究院授权不得商用。
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