下载一种气体分配器平面度检验工装及组合检验工装的技术资料

文档序号:33179898

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种气体分配器平面度检验工装,包括工装本体(1),所述工装本体(1)包括用于对气体分配器(4)进行定位的定位块(1
...
该专利属于靖江先锋半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过靖江先锋半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。