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本申请提供一种晶托脱胶工装及脱胶系统,晶托脱胶工装用于对晶托进行承载固定,晶托包括晶托基板和两个突出部,两个突出部分别突出设置于晶托基板的两端。晶托脱胶工装包括工装本体和两个固定装置,工装本体包括支架,支架具有第一端和第二端。每个固定装置包...该专利属于通合新能源(金堂)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过通合新能源(金堂)有限公司授权不得商用。
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本申请提供一种晶托脱胶工装及脱胶系统,晶托脱胶工装用于对晶托进行承载固定,晶托包括晶托基板和两个突出部,两个突出部分别突出设置于晶托基板的两端。晶托脱胶工装包括工装本体和两个固定装置,工装本体包括支架,支架具有第一端和第二端。每个固定装置包...