下载一种晶托脱胶工装及脱胶系统的技术资料

文档序号:33178492

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请提供一种晶托脱胶工装及脱胶系统,晶托脱胶工装用于对晶托进行承载固定,晶托包括晶托基板和两个突出部,两个突出部分别突出设置于晶托基板的两端。晶托脱胶工装包括工装本体和两个固定装置,工装本体包括支架,支架具有第一端和第二端。每个固定装置包...
该专利属于通合新能源(金堂)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过通合新能源(金堂)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。