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本实用新型提供一种反应腔体定位夹具,包括操作台和夹持机构,所述操作台的下方固定安装有固定脚,所述固定脚的数量为四,所述夹持机构设置于操作台上方靠近四角的位置,所述操作台的上方设置有定位机构,所述定位机构的上方设置有反应腔体,所述夹持机构包括...该专利属于爱利彼半导体设备(中国)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过爱利彼半导体设备(中国)有限公司授权不得商用。
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